|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000800753 |
| 005 |
20120920111804.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20120525d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Кравченко Анатолий Анатольевич
$g [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2012
|
| 215 |
# |
# |
$a 25 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 24—25 (12 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2685016
$a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2685025
$a ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33890
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4364956
$a ЩЕЛЕВЫЕ ФИЛЬТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33908
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РАСЧЕТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3321655
$a КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a эпитаксиальные установки
|
| 610 |
0 |
# |
$a эпітаксіяльныя ўстаноўкі
|
| 610 |
0 |
# |
$a щелевые реакторы
|
| 610 |
0 |
# |
$a шчылінныя рэактары
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar5226262
$a Кравченко
$b А. А.
$g Анатолий Анатольевич
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20120525
$g psbo
|
