Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 (200100) "Микроэлектроника и твердотельная электроника" : [в 2 ч.] / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование

Сохранено в:
Шифр документа: 1//367829(039),
Вид документа: Книги
Автор: Королев, М. А.
Физические характеристики: 396, [1] с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
ХИМИЧЕСКОЕ ПАРОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
00000cam2a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0000788268
005 20220412161440.0
010 # # $a 978-5-94774-336-4  $b в переплете 
100 # # $a 20120426d2010 f y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование 
215 # # $a 396, [1] с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография в конце книги (14 назв.) 
345 # # $9 1000 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-br0000851132  $1 2001   $v Ч. 1 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2246902  $a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23928  $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3128229  $a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1720201  $a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1733874  $a ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1756760  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1607655  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4552444  $a ХИМИЧЕСКОЕ ПАРОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1595507  $a ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2790887  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3(075.8)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.77  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.33  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-RLST-ar371377  $a Королев  $b М. А.  $g Михаил Александрович  $c доктор технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20120426  $g psbo 

Схожие документы