Усовершенствование и унификация базовой имплантационной технологии фотодиодов из антимонида индия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Максимов Александр Дмитриевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Максимов, А. Д. |
Опубликовано: | Москва , 2012 |
Физические характеристики: |
26 с. : ил., табл.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|