|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000781816 |
| 005 |
20180910135014.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20120409d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Усовершенствование и унификация базовой имплантационной технологии фотодиодов из антимонида индия
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Максимов Александр Дмитриевич
$g [Московский государственный университет тонких химических технологий им. М. В. Ломоносова (МИТХТ), ОАО "Московский завод "САПФИР"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2012
|
| 215 |
# |
# |
$a 26 с.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 25 (7 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36384
$a ФОТОДИОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar66272
$a АНТИМОНИД ИНДИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33914
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar5122701
$a Максимов
$b А. Д.
$g Александр Дмитриевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20120409
$g psbo
|
