|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000777299 |
| 005 |
20120619111121.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20120329d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Процессы формирования наноструктур на основе пористых анодных оксидов металлов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Белов Алексей Николаевич
$g [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2011
|
| 215 |
# |
# |
$a 47 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 40—47 (59 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2448302
$a ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24726
$a ПОРИСТЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33920
$a ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar67566
$a НАНОТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83379
$a АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3340057
$a КАТОДНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3128229
$a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2644768
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2764600
$a СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.48
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.07
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.09.30
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-383523
$a Белов
$b А. Н.
$g Алексей Николаевич
$c доктор технических наук, электроника
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20120329
$g psbo
|
