Электрофизические свойства и оптимизация параметров эпитаксиальных псевдоморфных НЕМТ структур с односторонним и двухсторонним дельта - легированием: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Климов Евгений Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//131487(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Климов, Е. А.
Опубликовано: Москва , 2012
Физические характеристики: 18 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ
НАНОСТРУКТУРЫ
ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000773038
005 20120628161429.0
100 # # $a 20120322d2012 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Электрофизические свойства и оптимизация параметров эпитаксиальных псевдоморфных НЕМТ структур с односторонним и двухсторонним дельта - легированием  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Климов Евгений Александрович  $g [Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук] 
210 # # $a Москва  $d 2012 
215 # # $a 18 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 17—18 (12 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2125662  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32976  $a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7368  $a ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2665900  $a НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2685025  $a ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2282245  $a МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33914  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33920  $a ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39284  $a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.45  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.48  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.35.47  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar5059939  $a Климов  $b Е. А.  $g Евгений Александрович  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20120322  $g psbo 

Схожие документы