Исследование и разработка методов расширения рабочего диапазона и улучшения характеристик микромеханических датчиков угловой скорости: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Тимошенков Алексей Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//130400(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Тимошенков, А. С. (род. 1985)
Опубликовано: Москва , 2012
Физические характеристики: 28 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000767292
005 20120518160904.0
100 # # $a 20120313d2012 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование и разработка методов расширения рабочего диапазона и улучшения характеристик микромеханических датчиков угловой скорости  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Тимошенков Алексей Сергеевич  $g [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"] 
210 # # $a Москва  $d 2012 
215 # # $a 28 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 27—28 (9 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4745495  $a МИКРОМЕХАНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1992514  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2295429  $a УГЛОВАЯ СКОРОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32976  $a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1913019  $a МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3174452  $a ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ (метрол.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381861  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52080  $a КРЕМНИЕВЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 59.31.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.03.09  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 50.09.37  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.14.07  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar5020459  $a Тимошенков  $b А. С.  $g Алексей Сергеевич  $c доктор технических наук  $f род. 1985 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20120313  $g psbo