|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000755140 |
| 005 |
20220524091200.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20120216d1993 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a z 100yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Тонкие пленки в электронике
$e материалы IV Межрегионального совещания
$f [ответственный научный редактор А. Ф. Белянин]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$a Улан-Удэ
$c [б. и.]
$d 1993
|
| 215 |
# |
# |
$a 255 c.
$c ил.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаголовке: Комитет Российской Федерации по оборонным отраслям промышленности, Главное управление промышленности средств связи, Научно-производственное объединение "Техномаш", Центральный научно-исследовательский технологический институт, Российская академия наук, Бурятский институт естественных наук, Институт физической химии [и др.]
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей
|
| 345 |
# |
# |
$9 600 экз.
|
| 512 |
1 |
# |
$a Материалы IV Межрегионального совещания "Тонкие пленки в электронике"
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1607655
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12174
$a ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4914454
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1800903
$a СТРУКТУРА МАТЕРИАЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35855
$a ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar4662057
$a МАТЕРИАЛЫ КОНФЕРЕНЦИИ, СЪЕЗДА, СИМПОЗИУМА
$2 BYGNR
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.38-027.3:621.793(06)(470+571)
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 539.216.2(06)(470+571)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.01.13
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.01.13
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.13
$v 6
$2 rugasnti
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-552922
$a Белянин
$b А. Ф.
$g Алексей Федорович
$4 340
|
| 711 |
1 |
0 |
$3 BY-NLB-ar5001656
$a "Тонкие пленки в электронике"
$g межрегиональное совещание
$d 4
$f 1993
$e Улан-Удэ
$4 475
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20120216
$g psbo
|
