Эллипсометрические и спектрофотометрические методы исследования и контроля оптических характеристик поверхностных слоев элементов оптотехники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.11.07 Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы / Данилова Татьяна Михайловна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//124352(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Данилова, Т. М.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2011
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000728106
005 20120315141454.0
100 # # $a 20111219d2011 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Эллипсометрические и спектрофотометрические методы исследования и контроля оптических характеристик поверхностных слоев элементов оптотехники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.11.07 Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы  $f Данилова Татьяна Михайловна  $g Министерства финансов Российской Федерации, Санкт-Петербургский национальный исследовательский универсиет информационных технологий, механики и оптики 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2011 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 22 (9 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21873  $a ОПТОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23914  $a ПОВЕРХНОСТНЫЙ СЛОЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60422  $a ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar31489  $a СПЕКТРОФОТОМЕТРИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1872074  $a ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21831  $a ОПТИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.11.07  $2 oksvnk 
686 # # $a 59.41  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar4703140  $a Данилова  $b Т. М.  $g Татьяна Михайловна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20111219  $g psbo