Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.11.07 Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы / Полищук Григорий Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//123721(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Полищук, Г. С.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2011
Физические характеристики: 21 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000726274
005 20120202093424.0
100 # # $a 20111214d2011 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.11.07 Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы  $f Полищук Григорий Сергеевич  $g Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2011 
215 # # $a 21 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 21 (5 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4540599  $a ПОВЕРХНОСТНЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33826  $a ТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21825  $a ОПТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18300  $a МИКРОСКОПЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3342150  $a ОБЪЕКТИВЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22676  $a ПАРАМЕТРЫ (физ., техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3318875  $a ОПТИЧЕСКИЕ ИЗОБРАЖЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18108  $a РАСЧЕТА МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14544  $a КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.31.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 90.27.37  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.11.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar4691407  $a Полищук  $b Г. С.  $g Григорий Сергеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20111214  $g psbo