|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000726274 |
| 005 |
20120202093424.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20111214d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.11.07 Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
$f Полищук Григорий Сергеевич
$g Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2011
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21 (5 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85256
$a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4540599
$a ПОВЕРХНОСТНЫЕ ДЕФЕКТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33826
$a ТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21825
$a ОПТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18300
$a МИКРОСКОПЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3342150
$a ОБЪЕКТИВЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22676
$a ПАРАМЕТРЫ (физ., техн.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3318875
$a ОПТИЧЕСКИЕ ИЗОБРАЖЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18108
$a РАСЧЕТА МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2113377
$a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14544
$a КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.31.29
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 90.27.37
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.11.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar4691407
$a Полищук
$b Г. С.
$g Григорий Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20111214
$g psbo
|
