Исследование закономерностей изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий / Севрюкова Елена Александровна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//123125(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Севрюкова, Е. А.
Опубликовано: Москва , 2011
Физические характеристики: 29 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ
ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ
МИКРОКЛИМАТ
ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ СРЕДА
ТЕПЛОВЛАЖНОСТНЫЙ РЕЖИМ ЗДАНИЙ
АЭРОЗОЛИ
ВОЗДУШНЫЕ ПОТОКИ
НАНОЧАСТИЦЫ
КОНЦЕНТРАЦИЯ (хим.)
КОАГУЛЯЦИЯ
КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
КИНЕТИЧЕСКИЕ УРАВНЕНИЯ
СМОЛУХОВСКОГО УРАВНЕНИЯ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000724247
005 20120131162655.0
100 # # $a 20111209d2011 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование закономерностей изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий  $f Севрюкова Елена Александровна  $g [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"] 
210 # # $a Москва  $d 2011 
215 # # $a 29 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 29 (7 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18374  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar61417  $a ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar84874  $a ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18256  $a МИКРОКЛИМАТ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3274781  $a ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ СРЕДА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33386  $a ТЕПЛОВЛАЖНОСТНЫЙ РЕЖИМ ЗДАНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3311  $a АЭРОЗОЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6046  $a ВОЗДУШНЫЕ ПОТОКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2183489  $a НАНОЧАСТИЦЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2171416  $a КОНЦЕНТРАЦИЯ (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13711  $a КОАГУЛЯЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14264  $a КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13328  $a КИНЕТИЧЕСКИЕ УРАВНЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3136848  $a СМОЛУХОВСКОГО УРАВНЕНИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.11.13  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.01.93  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 86.21  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar4660472  $a Севрюкова  $b Е. А.  $g Елена Александровна  $c доктор технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20111209  $g psbo 

Схожие документы