|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000723674 |
| 005 |
20160921104342.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20111208d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Пинаев Вячеслав Владимирович
$g [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2011
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 15—16 (16 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60038
$a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4246637
$a ОКСИДЫ ТИТАНА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2755661
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1607655
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a титана оксинитрид
|
| 610 |
0 |
# |
$a тытану аксінітрыд
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.19
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.20.15
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar4657772
$a Пинаев
$b В. В.
$g Вячеслав Владимирович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20111208
$g psbo
|
