|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000720010 |
| 005 |
20120209120430.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20111128d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Фарафонов Сергей Борисович
$g [Институт общей физики им. А. М. Проханова РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2011
|
| 215 |
# |
# |
$a 28 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 26—28 (25 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4759018
$a ОКСИДНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24610
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КРИСТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18851
$a МОНОКРИСТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar69493
$a ИНТЕРМЕТАЛЛИДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15100
$a ДИОКСИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2685016
$a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar37497
$a ЦИЛИНДРИЧЕСКИЕ ПОВЕРХНОСТИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23928
$a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar67566
$a НАНОТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4760361
$a ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4761179
$a НАНОШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a поверхность подложки
|
| 610 |
0 |
# |
$a паверхня падложкі
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.37
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.48
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar4615825
$a Фарафонов
$b С. Б.
$g Сергей Борисович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20111128
$g psbo
|
