Физико-химические процессы производства изделий интегральной электроники: лабораторный практикум по дисциплинам "Конструирование и технология изделий интегральной электроники", "Физико-химические основы материалов и электронных компонентов" для студентов специальностей "Проектирование и производство РЭС", "Электронно-оптические системы и технологии" / [Л. П. Ануфриев и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//314100(039), 1Н//314101(039),
Вид документа: Книги
Опубликовано: Минск : БГУИР , 2011
Физические характеристики: 46 с. : ил., табл. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0000716453
005 20220412153129.0
010 # # $a 978-985-488-749-4 
100 # # $a 20111117d2011 f y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Физико-химические процессы производства изделий интегральной электроники  $e лабораторный практикум по дисциплинам "Конструирование и технология изделий интегральной электроники", "Физико-химические основы материалов и электронных компонентов" для студентов специальностей "Проектирование и производство РЭС", "Электронно-оптические системы и технологии"  $f [Л. П. Ануфриев и др.]  $g под редакцией А. П. Достанко  $g Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Кафедра электронной техники и технологии 
210 # # $a Минск  $c БГУИР  $d 2011 
215 # # $a 46 с.  $c ил., табл.  $d 20 см 
320 # # $a Библиография в конце лабораторных работ 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33594  $a ТЕРМОДИФФУЗИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36833  $a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23669  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23928  $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2665055  $a ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТЕЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36831  $a ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35865  $a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2274507  $a ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА  $2 BYGNR 
608 # # $3 BY-NLB-ar2281534  $a ПРАКТИКУМ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3(076.5)(075.8)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.33  $v 6  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2495368  $a Ануфриев  $b Л. П.  $g Леонид Петрович  $c доктор технических наук  $f род. 1945 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2495390  $a Достанко  $b А. П.  $g Анатолий Павлович  $c доктор технических наук  $f род. 1937  $4 340 
701 # 1 $3 BY-SEK-430677  $a Касинский  $b Н. К.  $g Николай Константинович  $c кандидат технических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-ar5231082  $a Ковальчук  $b Н. С.  $g Наталья Станиславовна  $c кандидат технических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-1450506  $a Коробко  $b А. О.  $g Александра Олеговна  $c кандидат технических наук 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2637712  $a Ланин  $b В. Л.  $g Владимир Леонидович  $c доктор технических наук, электроника  $f род. 1948 
701 # 1 $3 BY-SEK-661970  $a Соловьев  $b Я. А.  $g Ярослав Александрович  $c кандидат технических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-318973  $a Русецкий  $b А. М.  $g Анатолий Максимович  $c доктор технических наук  $f род. 1951 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2890564  $a Томаль  $b В. С.  $g Владимир Степанович  $c кандидат технических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2736637  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $b Кафедра электронной техники и технологии  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20111117  $g psbo