|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000712467 |
| 005 |
20170123164239.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20111104d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Преципитация бора в кремнии при имплантации и отжиге: расслоение на стадии оствальдовского созревания
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 01.04.10
$f Феклистов Константин Викторович
$g [Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 2011
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 16—18
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2749267
$a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2183489
$a НАНОЧАСТИЦЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4405
$a БОР (хим.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2685016
$a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4600968
$a ПРЕЦИПИТАТЫ (физ. химия)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar87382
$a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3160487
$a РАССЛОЕНИЕ (техн.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4605186
$a ПЕРЕКОНДЕНСАЦИЯ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar4555085
$a Феклистов
$b К. В.
$g Константин Викторович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20111104
$g psbo
|
