Разработка методов синтеза и обработки наноразмерных пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.16.09 / Тупик Виктор Анатольевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//115135(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Тупик, В. А. (род. 1960)
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2011
Физические характеристики: 35 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000691730
005 20110919134301.0
100 # # $a 20110825d2011 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка методов синтеза и обработки наноразмерных пленок  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e 05.16.09  $f Тупик Виктор Анатольевич  $g [Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2011 
215 # # $a 35 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 30—35 (44 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2862840  $a НАНОПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2775854  $a ФРАКТАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar67566  $a НАНОТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2643528  $a МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12174  $a ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2451391  $a ИОННО-ЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2790887  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2473268  $a ПРОЕКЦИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.16.09  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.22  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.07  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-CNB-a599174  $a Тупик  $b В. А.  $g Виктор Анатольевич  $c доктор технических наук  $f род. 1960 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20110825  $g psbo