|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0000690993 |
005 |
20110919113450.0 |
100 |
# |
# |
$a 20110823d2011 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a KZ
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
$e 05.27.01
$f Бейсенханов Нуржан Бейсенханович
$g [Физико-технический институт Министерства образования и науки Республики Казахстан]
|
210 |
# |
# |
$a Алматы
$d 2011
|
215 |
# |
# |
$a 31 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 26—31 (51 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23655
$a ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
620 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2504594
$d Алма-Ата
$2 BY-auth
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrzz
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
$v 6
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-439130
$a Бейсенханов
$b Н. Б.
$g Нуржан Бейсенханович
$c кандидат физико-математических наук
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20110823
$g psbo
|