Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 05.27.01 / Бейсенханов Нуржан Бейсенханович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//114957(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Бейсенханов, Н. Б.
Опубликовано: Алматы , 2011
Физические характеристики: 31 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000690993
005 20110919113450.0
100 # # $a 20110823d2011 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a KZ 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук  $e 05.27.01  $f Бейсенханов Нуржан Бейсенханович  $g [Физико-технический институт Министерства образования и науки Республики Казахстан] 
210 # # $a Алматы  $d 2011 
215 # # $a 31 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 26—31 (51 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23655  $a ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
620 # # $3 BY-NLB-ar2504594  $d Алма-Ата  $2 BY-auth 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrzz 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-439130  $a Бейсенханов  $b Н. Б.  $g Нуржан Бейсенханович  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20110823  $g psbo