Оборудование производства микроэлектронных устройств : лабораторный практикум для учащихся специальности 2-41 01 31 "Микроэлектроника" : в 2 ч. / А. В. Шишанков, Г. А. Калашников. Ч. 1

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//296345(039), 1Н//296346(039),
Вид документа: Книги
Опубликовано: 2011
Физические характеристики: 60 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam2a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0000685298
005 20220412153428.0
010 # # $a 978-985-526-101-9 
100 # # $a 20110719d2011 t y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 0 # $a Ч. 1 
210 # # $d 2011 
215 # # $a 60 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 59 (9 назв.) 
345 # # $9 90 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-br0000685297  $1 2000   $v Ч. 1 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1657703  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18168  $a МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4863  $a ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3355979  $a ВАКУУМНЫЕ КАМЕРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4856  $a ВАКУУММЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2281094  $a ЦЕНТРИФУГИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34492  $a ТРАНСПОРТИРУЮЩИЕ МЕХАНИЗМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2274507  $a ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА  $2 BYGNR 
608 # # $3 BY-NLB-ar2281534  $a ПРАКТИКУМ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:658.274(076.5)(075.32)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 81.29.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 81.29.21  $v 6  $2 rugasnti 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20110719  $g psbo