Многокоординатная система перемещений на основе сегментного кольцевого привода прямого действия для оборудования микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Ареби Мажед Али
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Ареби, М. А. (род. 1968) |
Опубликовано: | Минск , 2011 |
Физические характеристики: |
21 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|