Создание LIGA-технологического комплекса на источнике синхротронного излучения ВЭПП—3: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 01.04.01 / Гольденберг Борис Григорьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//109845(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Гольденберг, Б. Г.
Опубликовано: Новосибирск , 2011
Физические характеристики: 16 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000663553
005 20110616101402.0
100 # # $a 20110514d2011 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Создание LIGA-технологического комплекса на источнике синхротронного излучения ВЭПП—3  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 01.04.01  $f Гольденберг Борис Григорьевич  $g [Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера Сибирского отделения РАН] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2011 
215 # # $a 16 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 14—16 (15 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18306  $a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2408340  $a МИКРОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar28137  $a РЕНТГЕНОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar30200  $a СИНХРОТРОННОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35945  $a ФИЗИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4242721  $a LIGA (технология)  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.22  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 01.04.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Гольденберг  $b Б. Г.  $g Борис Григорьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20110514  $g psbo