|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0000663553 |
005 |
20110616101402.0 |
100 |
# |
# |
$a 20110514d2011 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Создание LIGA-технологического комплекса на источнике синхротронного излучения ВЭПП—3
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 01.04.01
$f Гольденберг Борис Григорьевич
$g [Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера Сибирского отделения РАН]
|
210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 2011
|
215 |
# |
# |
$a 16 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 14—16 (15 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2408340
$a МИКРОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar28137
$a РЕНТГЕНОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar30200
$a СИНХРОТРОННОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35945
$a ФИЗИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4242721
$a LIGA (технология)
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 01.04.01
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$a Гольденберг
$b Б. Г.
$g Борис Григорьевич
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20110514
$g psbo
|