Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания монокристаллов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.06 / Гоник Марк Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//109678(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Гоник, М. М.
Опубликовано: Москва , 2011
Физические характеристики: 16 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ
ТЕМПЕРАТУРНЫЙ РЕЖИМ
УПРАВЛЕНИЕ
ТОЧНОСТЬ
АСУ
МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
ИСПЫТАНИЯ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000662872
005 20110609153221.0
100 # # $a 20110513d2011 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания монокристаллов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.13.06  $f Гоник Марк Михайлович  $g [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана] 
210 # # $a Москва  $d 2011 
215 # # $a 16 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 15—16 (14 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar42268  $a ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33290  $a ТЕМПЕРАТУРНЫЙ РЕЖИМ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35253  $a УПРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34338  $a ТОЧНОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55089  $a АСУ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17280  $a МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25725  $a ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12334  $a ИСПЫТАНИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.01.77  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 50.43  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 50.41.25  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.13.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Гоник  $b М. М.  $g Марк Михайлович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20110513  $g psbo 

Схожие документы