Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Гуляев Вячеслав Валентинович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//106257(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Гуляев, В. В.
Опубликовано: Воронеж , 2011
Физические характеристики: 16 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000644946
005 20110406130920.0
100 # # $a 20110321d2011 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.01  $f Гуляев Вячеслав Валентинович  $g [ГОУ ВПО "Воронежский государственный университет"] 
210 # # $a Воронеж  $d 2011 
215 # # $a 16 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 15—16 (16 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18851  $a МОНОКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2384640  $a НИОБАТ ЛИТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23671  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3128229  $a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6836  $a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23916  $a ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2073482  $a КИНЕТИКА ПЛАЗМЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 61.69.37  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.27.51  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 31.15.27  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $a Гуляев  $b В. В.  $g Вячеслав Валентинович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20110321  $g psbo