Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5 — прекурсоров для создания полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук: 02.00.08 / Шатунов Валерий Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шатунов, В. В. |
| Опубликовано: | Москва , 2011 |
| Физические характеристики: |
22 с. : табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||