|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000636575 |
| 005 |
20220412163134.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20110218d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5 — прекурсоров для создания полупроводниковых структур
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
$e 02.00.08
$f Шатунов Валерий Владимирович
$g Государственный научный центр Российской Федерации "Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (ГНЦ РФ "ГНИИХТЭОС)
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2011
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с.21—22 (8 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24596
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar77311
$a МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39334
$a ЭЛЕМЕНТООРГАНИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4055709
$a ЦИКЛОПЕНТАСИЛАНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4055786
$a ТРИЭТИЛГАЛЛИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3152127
$a ПРЕКУРСОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2685025
$a ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22186
$a ОСОБО ЧИСТЫЕ ВЕЩЕСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.69.35
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 53.41.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 53.41.37
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 02.00.08
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Шатунов
$b В. В.
$g Валерий Владимирович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20110218
$g psbo
|
