Оптические технологии микро- и наноэлектроники / Я. И. Точицкий

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//266842(039), 1Н//266843(039),
Вид документа: Книги
Автор: Точицкий, Я. И.
Опубликовано: Минск : Республиканский институт высшей школы , 2010
Физические характеристики: 298 с. : ил., цв. ил., табл. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0000616117
005 20220412154429.0
010 # # $a 978-985-500-407-4 
100 # # $a 20110104d2010 w y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Оптические технологии микро- и наноэлектроники  $f Я. И. Точицкий 
210 # # $a Минск  $c Республиканский институт высшей школы  $d 2010 
215 # # $a 298 с.  $c ил., цв. ил., табл.  $d 20 см 
320 # # $a Библиография: с. 286―296 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar45117  $a НАНОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2759230  $a МИКРОСИСТЕМЫ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3352548  $a НАНОСИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3285571  $a ГЕОМЕТРИЧЕСКАЯ ТОПОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85262  $a ФОТОШАБЛОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7060  $a ГЕНЕРАТОРЫ ИЗОБРАЖЕНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2130524  $a МУЛЬТИПЛИКАТОРЫ (техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2282890  $a УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ОБУЧАЮЩИХСЯ  $2 BYGNR 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:776(075)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.38-022.532:776(075)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.07  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.03.05  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.33  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar1985736  $a Точицкий  $b Я. И.  $g Яков Иванович  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20110104  $g psbo