Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.09.01 / Ляпунов Данил Юрьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//101267(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ляпунов, Д. Ю.
Опубликовано: Томск , 2010
Физические характеристики: 21 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000608049
005 20110120090644.0
100 # # $a 20101220d2010 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.09.01  $f Ляпунов Данил Юрьевич  $g [ГОУ ВПО "Нациоальный исследовательский Томский государственный университет"] 
210 # # $a Томск  $d 2010 
215 # # $a 21 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 19—21 (27 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381861  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2820090  $a ЕМКОСТНЫЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11345  $a ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23812  $a ПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 50.09.37  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.14.19  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.09.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Ляпунов  $b Д. Ю.  $g Данил Юрьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20101220  $g psbo