|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0000608049 |
005 |
20110120090644.0 |
100 |
# |
# |
$a 20101220d2010 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.09.01
$f Ляпунов Данил Юрьевич
$g [ГОУ ВПО "Нациоальный исследовательский Томский государственный университет"]
|
210 |
# |
# |
$a Томск
$d 2010
|
215 |
# |
# |
$a 21 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—21 (27 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381861
$a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2820090
$a ЕМКОСТНЫЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11345
$a ДАТЧИКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23812
$a ПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 50.09.37
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 59.14.19
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 59.29
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 05.09.01
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$a Ляпунов
$b Д. Ю.
$g Данил Юрьевич
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20101220
$g psbo
|