Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 01.04.20 / Степанов Игорь Борисович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//100360(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Степанов, И. Б.
Опубликовано: Томск , 2010
Физические характеристики: 44 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ
КОМБИНИРОВАННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
ПЛАЗМОТРОНЫ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
плазменно-иммерсионная ионная имплантация
плазменна-імерсійная іонная імплантацыя

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//100360(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:88 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал

Схожие документы