Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 01.04.20 / Степанов Игорь Борисович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//100360(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Степанов, И. Б.
Опубликовано: Томск , 2010
Физические характеристики: 44 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000603887
005 20110105151747.0
100 # # $a 20101210d2010 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e 01.04.20  $f Степанов Игорь Борисович  $g [ГОУ ВПО "Национальный исследовательский "Томский политехнический университет"] 
210 # # $a Томск  $d 2010 
215 # # $a 44 с.  $c ил. 
300 # # $a Резюме на казахском, английском языках 
320 # # $a Библиография: с. 38—44 (95 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3364070  $a ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1798267  $a КОМБИНИРОВАННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12162  $a ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1578239  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1607655  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23665  $a ПЛАЗМОТРОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33866  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
610 0 # $a плазменно-иммерсионная ионная имплантация 
610 0 # $a плазменна-імерсійная іонная імплантацыя 
686 # # $a 01.04.20  $2 oksvnk 
686 # # $a 81.29.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 81.29.14  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 55.20.27  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar1932424  $a Степанов  $b И. Б.  $g Игорь Борисович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20101210  $g psbo