Оптическая эмиссионная спектроскопия силансодержащих потоков газа, активированных электронно-пучковой плазмой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.14 / Баранов Евгений Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Баранов, Е. А. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 2010 |
| Физические характеристики: |
19 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||