Оптическая эмиссионная спектроскопия силансодержащих потоков газа, активированных электронно-пучковой плазмой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.14 / Баранов Евгений Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//99933(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Баранов, Е. А.
Опубликовано: Новосибирск , 2010
Физические характеристики: 19 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000601792
005 20110201172046.0
100 # # $a 20101207d2010 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Оптическая эмиссионная спектроскопия силансодержащих потоков газа, активированных электронно-пучковой плазмой  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.14  $f Баранов Евгений Александрович  $g [Учреждение Российской академии наук Институт теплофизики им. С. С. Ктателадзе СО РАН] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2010 
215 # # $a 19 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 18—19 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1606378  $a ЭЛЕКТРОННО-ПУЧКОВАЯ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2242396  $a ОПТИЧЕСКОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1583164  $a ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6772  $a ГАЗОВЫЕ ПОТОКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2775397  $a СОЛНЕЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83769  $a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 01.04.14  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.31.15  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.31.27  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.31.26  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.27.49  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.27.43  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $a Баранов  $b Е. А.  $g Евгений Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20101207  $g psbo