Исследование и модификация наноструктур с использованием токовых режимов зондовой микроскопии и литографии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Сагунова Ирина Владимировна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//99440(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Сагунова, И. В.
Опубликовано: Москва , 2010
Физические характеристики: 23 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000600120
005 20180306094304.0
100 # # $a 20101203d2010 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование и модификация наноструктур с использованием токовых режимов зондовой микроскопии и литографии  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.01  $f Сагунова Ирина Владимировна  $g [Московский государственный институт электронной техники (Технический университет)] 
210 # # $a Москва  $d 2010 
215 # # $a 23 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 21—23 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2665900  $a НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55517  $a ИССЛЕДОВАНИЙ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar76888  $a СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3284766  $a СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1825661  $a ЗОНДОВЫЕ СКАНИРУЮЩИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2648827  $a КАНТИЛЕВЕРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39194  $a ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2384363  $a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3136694  $a ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.09.48  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.07  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.22  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.31.21  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $a Сагунова  $b И. В.  $g Ирина Владимировна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20101203  $g psbo