Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10: защищена 18.06.10: утверждена 15.09.10 / Королик Ольга Васильевна

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//2601(039), #32Н//158166CD(055),
Вид документа: Диссертации
Автор: Королик, О. В.
Опубликовано: Минск , 2010
Физические характеристики: 133, [2] л. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ
ЧОХРАЛЬСКОГО МЕТОД
ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ
СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0000591236
005 20140827122636.3
100 # # $a 20101119h20102010k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.10  $e защищена 18.06.10  $e утверждена 15.09.10  $f Королик Ольга Васильевна  $g научный руководитель Дроздов Н. А.  $g Белорусский государственный университет 
210 # # $a Минск  $d 2010 
215 # # $a 133, [2] л.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: л. 120—133 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000510472 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381802  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3341921  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar42268  $a ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar65923  $a ЧОХРАЛЬСКОГО МЕТОД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23928  $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1578239  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38854  $a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52786  $a ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32374  $a СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.592:669.782-172:621.793.18(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.774-027.3:621.793.18(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrrb 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 53.41.31  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar1610983  $a Королик  $b О. В.  $g Ольга Васильевна 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar167094  $a Белорусский государственный университет  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20100528  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer/?markID=BY-NLB-br0000591236&fileID=5855307 

Схожие документы