Разработка и исследование технологических основ формирования легированных анодных пленок диоксида кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01 / Милешко Леонид Петрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//96332(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Милешко, Л. П. (род. 1949)
Опубликовано: Таганрог , 2010
Физические характеристики: 47 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000581839
005 20101119144024.0
100 # # $a 20101105d2010 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка и исследование технологических основ формирования легированных анодных пленок диоксида кремния  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e 05.27.01  $f Милешко Леонид Петрович  $g [Южный федеральный унивеситет] 
210 # # $a Таганрог  $d 2010 
215 # # $a 47 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 41—47 (57 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2212609  $a ОКСИДЫ КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83379  $a АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar1849037  $a Милешко  $b Л. П.  $g Леонид Петрович  $c доктор технических наук  $f род. 1949 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20101105  $g psbo