Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологий: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Невшупа Роман Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Невшупа, Р. А. |
| Опубликовано: | Москва , 2010 |
| Физические характеристики: |
32 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||