|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000562070 |
| 005 |
20220215144855.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20101005d2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологий
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e 05.27.06
$f Невшупа Роман Александрович
$g [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2010
|
| 215 |
# |
# |
$a 32 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 30—32 (37 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar8969
$a ДЕСОРБЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35129
$a УЗЛЫ ТРЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6544
$a ВЫСОКОВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39076
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar67566
$a НАНОТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18156
$a МЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.03.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.07
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.09
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar1784856
$a Невшупа
$b Р. А.
$g Роман Александрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20101005
$g psbo
|
