Формирование и свойства водородсодержащих доноров в субмикронных слоях кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Цвырко Виктор Геннадьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//91547(039), 2Н//93911(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Цвырко, В. Г.
Опубликовано: Минск , 2010
Физические характеристики: 20 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ
ДОНОРНЫЕ ПРИМЕСИ (хим.)
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ВОДОРОДНЫЕ ИОНЫ
РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000544977
005 20140304112431.0
100 # # $a 20100831d2010 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d eng  $d bel  $d rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Формирование и свойства водородсодержащих доноров в субмикронных слоях кремния  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.10  $f Цвырко Виктор Геннадьевич  $g Белорусский государственный университет 
210 # # $a Минск  $d 2010 
215 # # $a 20 с.  $c ил. 
300 # # $a Резюме на английском, белорусском, русском языках 
311 # # $a В фонде имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 16—17 (15 назв.) 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000609913 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2351267  $a ДОНОРНЫЕ ПРИМЕСИ (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2685025  $a ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3334434  $a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar59672  $a ВОДОРОДНЫЕ ИОНЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.592.3:661.681:621.793.18(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 669.782.046.516.2-15(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrrb 
686 # # $a 29.19.17  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar1727011  $a Цвырко  $b В. Г.  $g Виктор Геннадьевич  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20100831  $g psbo 
830 # # $a 01.10.2010 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0000544977&fileID=1329185 

Схожие документы