|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000543296 |
| 005 |
20220412163540.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20100825d2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.11.14
$f Родионов Илья Анатольевич
$g [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2010
|
| 215 |
# |
# |
$a 16, [1] с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 16—17 (13 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1611433
$a СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2408340
$a МИКРОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2473268
$a ПРОЕКЦИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.11.14
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$a Родионов
$b И. А.
$g Илья Анатольевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20100825
$g psbo
|
