|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0000523574 |
005 |
20100827143614.0 |
100 |
# |
# |
$a 20100621d2010 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Плазмохимическое осаждение углеродных нано- и микроструктур для применения в электронике
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 01.04.08
$f Кривченко Виктор Александрович
$g [Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына Московского государственного университета им. М. В. Ломоносова]
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2010
|
215 |
# |
# |
$a 27 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 26—27
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35847
$a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1607655
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6836
$a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1715174
$a СВЧ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2916742
$a УГЛЕРОДНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2291006
$a УГЛЕРОДНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23657
$a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 29.27.51
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 29.27.07
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 31.15.30
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 01.04.08
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$a Кривченко
$b В. А.
$g Виктор Александрович
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20100621
$g psbo
|