Плазмохимическое осаждение углеродных нано- и микроструктур для применения в электронике: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.08 / Кривченко Виктор Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//89748(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Кривченко, В. А.
Опубликовано: Москва , 2010
Физические характеристики: 27 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000523574
005 20100827143614.0
100 # # $a 20100621d2010 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Плазмохимическое осаждение углеродных нано- и микроструктур для применения в электронике  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.08  $f Кривченко Виктор Александрович  $g [Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына Московского государственного университета им. М. В. Ломоносова] 
210 # # $a Москва  $d 2010 
215 # # $a 27 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 26—27 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35847  $a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1607655  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6836  $a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1715174  $a СВЧ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2916742  $a УГЛЕРОДНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2291006  $a УГЛЕРОДНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23657  $a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.27.51  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.27.07  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.22  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 31.15.30  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 01.04.08  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Кривченко  $b В. А.  $g Виктор Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20100621  $g psbo