Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Королик Ольга Васильевна
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Королик, О. В. |
| Publicado: | Минск , 2010 |
| Descripción Física: |
22 с. : ил.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: | |
| Acceso en línea: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Hacer reserva | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||