Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Королик Ольга Васильевна
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Королик, О. В. |
| 出版: | Минск , 2010 |
| 實物描述: |
22 с. : ил.
|
| 語言: | 俄文 英語 白俄羅斯 |
| 主題: | |
| 在線閱讀: |
電子文檔
|
| 00000cam0a2200000 ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-br0000510472 | ||
| 005 | 20130430185410.5 | ||
| 100 | # | # | $a 20100528d2010 k y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus $d eng $d bel $d rus |
| 102 | # | # | $a BY |
| 105 | # | # | $a a m 000yy |
| 109 | # | # | $a ac $a aa |
| 200 | 1 | # | $a Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук $e 01.04.10 $f Королик Ольга Васильевна $g Белорусский государственный университет |
| 210 | # | # | $a Минск $d 2010 |
| 215 | # | # | $a 22 с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Резюме на английском, белорусском, русском языках |
| 311 | # | # | $a В фонде имеется имеется диссертация |
| 320 | # | # | $a Библиография: с. 17—19 (19 назв.) |
| 488 | # | 0 | $1 001BY-NLB-br0000591236 |
| 606 | 0 | # | $3 BY-NLB-ar2381802 $a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ $2 DVNLB |
| 606 | 0 | # | $3 BY-NLB-ar3341921 $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ $2 DVNLB |
| 606 | 0 | # | $3 BY-NLB-ar42268 $a ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ $2 DVNLB |
| 606 | 0 | # | $3 BY-NLB-ar65923 $a ЧОХРАЛЬСКОГО МЕТОД $2 DVNLB |
| 606 | 0 | # | $3 BY-NLB-ar23928 $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА $2 DVNLB |
| 606 | 0 | # | $3 BY-NLB-ar1578239 $a ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА $2 DVNLB |
| 606 | 0 | # | $3 BY-NLB-ar38854 $a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА $2 DVNLB |
| 606 | 0 | # | $3 BY-NLB-ar52786 $a ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ $2 DVNLB |
| 606 | 0 | # | $3 BY-NLB-ar32374 $a СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА $2 DVNLB |
| 615 | # | # | $a Белорусский национальный документ |
| 675 | # | # | $a 621.315.592:669.782-172:621.793.18(043.3) $v 4 $z rus |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.774-027.3:621.793.18(043.3) $v 4 $z rus |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 nsnrrb |
| 686 | # | # | $a 47.13.33 $2 rugasnti $v 6 |
| 686 | # | # | $a 47.13.11 $2 rugasnti $v 6 |
| 686 | # | # | $a 47.09.29 $2 rugasnti $v 6 |
| 686 | # | # | $a 29.19.31 $2 rugasnti $v 6 |
| 686 | # | # | $a 53.41.31 $2 rugasnti $v 6 |
| 700 | # | 1 | $3 BY-SEK-ar1610983 $a Королик $b О. В. $g Ольга Васильевна |
| 801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20100528 $g psbo |
| 830 | # | # | $a 18.06.2010 |
| 856 | 4 | 9 | $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0000510472&fileID=1328520 |