Методы и средства интерферометрии высокого разрешения для обеспечения единства измерений геометрических параметров рельефа и шероховатости поверхности в нанометровом диапазоне: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.11.15 / Золотаревский Сергей Юрьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Золотаревский, С. Ю. |
| Опубликовано: | Москва , 2010 |
| Физические характеристики: |
35 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||