|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000506453 |
| 005 |
20100707091711.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20100520d2010 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование процесса восстановления монооксида кремния в плазме дугового разряда
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 01.04.08
$f Зайцев Сергей Аркадьевич
$g [Институт водородной энергетики и плазменных технологий Российского научного центра "Курчатовский институт", Московский физико-технический институт]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2010
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c ил.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35847
$a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2212609
$a ОКСИДЫ КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6260
$a ВОССТАНОВЛЕНИЕ (хим.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18034
$a МЕТАН
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6836
$a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23671
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.51
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.43
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.30
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.08
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Зайцев
$b С. А.
$g Сергей Аркадьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20100520
$g psbo
|
