|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000453524 |
| 005 |
20100408134211.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20100215d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Нанесение прозрачных проводящих покрытий на основе оксида цинка методом магнетронного распыления
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.02
$f Работкин Сергей Викторович
$g [Учреждение Российской академии наук Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Томск
$d 2009
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—22 (16 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23808
$a ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2643528
$a МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar27459
$a РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2724929
$a ОКСИД ЦИНКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.13
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.02
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Работкин
$b С. В.
$g Сергей Викторович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20100215
$g psbo
|
