Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро-и наноструктур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Гусев Евгений Юрьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гусев, Е. Ю. |
| Опубликовано: | Таганрог , 2009 |
| Физические характеристики: |
19 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||