|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000450588 |
| 005 |
20100326145416.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20100205d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро-и наноструктур
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.01
$f Гусев Евгений Юрьевич
$g [Технологический институт Южного федерального университета в г. Таганроге]
|
| 210 |
# |
# |
$a Таганрог
$d 2009
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 17—19 (24 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39620
$a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18853
$a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2187791
$a КАРБИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2685016
$a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23928
$a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39164
$a ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar84038
$a КАЧЕСТВО ПОВЕРХНОСТИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.53
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.20.15
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.07
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$a Гусев
$b Е. Ю.
$g Евгений Юрьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20100205
$g psbo
|
