|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0000450486 |
005 |
20201002103913.0 |
100 |
# |
# |
$a 20100205d2009 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Мониторинг плазмохимических процессов формирования микро-и наноструктур методами зондовой диагностики
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 05.27.01
$f Мяконьких Андрей Валерьевич
$g [Учреждение Российской академии наук "Физико-технологический институт РАН" (ФТИАН)]
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2009
|
215 |
# |
# |
$a 26 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 24—26
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23671
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2510153
$a ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13814939
$a ЛЕНГМЮРА ЗОНДЫ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 29.27.49
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.07
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$a Мяконьких
$b А. В.
$g Андрей Валерьевич
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20100205
$g psbo
|