Мониторинг плазмохимических процессов формирования микро-и наноструктур методами зондовой диагностики: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Мяконьких Андрей Валерьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//79121(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Мяконьких, А. В.
Опубликовано: Москва , 2009
Физические характеристики: 26 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000450486
005 20201002103913.0
100 # # $a 20100205d2009 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Мониторинг плазмохимических процессов формирования микро-и наноструктур методами зондовой диагностики  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 05.27.01  $f Мяконьких Андрей Валерьевич  $g [Учреждение Российской академии наук "Физико-технологический институт РАН" (ФТИАН)] 
210 # # $a Москва  $d 2009 
215 # # $a 26 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 24—26 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23671  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2665900  $a НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18306  $a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2510153  $a ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar45117  $a НАНОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13814939  $a ЛЕНГМЮРА ЗОНДЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.27.49  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.07  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Мяконьких  $b А. В.  $g Андрей Валерьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20100205  $g psbo