|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000449795 |
| 005 |
20100329115128.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20100204d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Повышение однородности состава и равномерности толщины многослойных тонкопленочных покрытий на поверхностях большого размера
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Колесник Леонид Леонидович
$g [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2009
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 16 (8 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34169
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24279
$a ПОКРЫТИЯ (материалы)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4867
$a ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39248
$a ЭЛЕКТРОТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24594
$a ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 45.03
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 45.09.35
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.29
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Колесник
$b Л. Л.
$g Леонид Леонидович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20100204
$g psbo
|
