Метод формирования регулярной матрицы нанокластеров кремния в системе кремний-диоксид кремния для элементов и устройств вычислительной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.05 / Фам Куанг Тунг
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Фам Куанг Тунг |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2009 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||