Electronic library of the National Library of Belarus :: Национальная Библиотека РБ

Структуры металл-диоксид кремния-полупроводник для интегральных микросхем: монография / В. В. Хатько

Saved in:

Шифр документа:	1Н//208684(039), 1Н//208685(039),
Format:	Books
Main Author:	Хатько, В. В.
Published:	Минск : Белорусский национальный технический университет , 2009
Physical Description:	233 с. : ил., табл. ; 21 см
Language:	Russian
Subjects:	МДП-ТЕХНОЛОГИЯ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ МОП-СТРУКТУРЫ ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ ДИОКСИД КРЕМНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ МДП-ТРАНЗИСТОРЫ ИС ПОЛЕВЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ С ИЗОЛИРОВАННЫМ ЗАТВОРОМ ПОДЗАТВОРНЫЕ ДИЭЛЕКТРИКИ транзисторы с самосовмещенным затвором транзістары з самасумяшчаным затворам

ОФХ отдела книгохранения

All : 2 , available: 2

Available Place a Hold

Information about the copies

Shifr	Fond	Holding place	Copy status	Reading room
1Н//208684(039)	ОФХ отдела книгохранения (039)	15:1:3:35	AVAILABLE	Рекомендованный ЧитЗал
1Н//208685(039)	ОФХ отдела книгохранения (039)	15:1:3:35	AVAILABLE	Рекомендованный ЧитЗал