|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000447233 |
| 005 |
20221215094804.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-985-525-326-7
|
| 100 |
# |
# |
$a 20100128d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Структуры металл-диоксид кремния-полупроводник для интегральных микросхем
$e монография
$f В. В. Хатько
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c Белорусский национальный технический университет
$d 2009
|
| 215 |
# |
# |
$a 233 с.
$c ил., табл.
$d 21 см
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 205―227 (246 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3353229
$a МДП-ТЕХНОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334434
$a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3170564
$a МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34175
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar64055
$a МОП-СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2722583
$a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15100
$a ДИОКСИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3171698
$a ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1733874
$a ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83769
$a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2643528
$a МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3128229
$a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12174
$a ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3353255
$a МДП-ТРАНЗИСТОРЫ ИС
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2287762
$a ПОЛЕВЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ С ИЗОЛИРОВАННЫМ ЗАТВОРОМ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14367568
$a ПОДЗАТВОРНЫЕ ДИЭЛЕКТРИКИ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a транзисторы с самосовмещенным затвором
|
| 610 |
0 |
# |
$a транзістары з самасумяшчаным затворам
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14/.16-027.3:621.793/.794
$v 4
$z rus
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.774.2:621.382.332
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.35
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-376953
$a Хатько
$b В. В.
$g Вячеслав Владимирович
$c доктор физико-математических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20100128
$g psbo
|
